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一种半导体设备微震监测设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420531495.X
申请日：
2024-03-19
公开(公告)号：
CN221977874U
公开(公告)日：
2024-11-08
发明(设计)人：
陈松振
申请人：
源心舍建筑科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路412号金沙湾商业广场9号CA9410
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
G01H17/00
代理机构：
杭州研基专利代理事务所(普通合伙) 33389
代理人：
赵丙卯
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-18 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):H01L 21/67变更事项:专利权人变更前:源心舍建筑科技有限公司变更后:源心舍科技（江苏）有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:江苏省苏州市昆山市玉湖商务中心76-102变更后:215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路412号金沙湾商业广场9号CA9410 |
| 2024-11-08 | 授权 | 授权 |