半导体设备制程环境微震监测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03101986.2

申请日：

2003-01-30

公开(公告)号：

CN100473949C

公开(公告)日：

2004-08-18

发明(设计)人：

蔡宏毅

申请人：

申请人地址：

台湾省台北市

IPC主分类号：

G01C1958

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

李强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-08-18	公开	公开
2006-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-04-01	授权	授权
2012-04-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101220709734 IPC(主分类):G01C 19/58 专利号:ZL031019862 申请日:20030130 授权公告日:20090401 终止日期:20110130

共 50 条

[1]

半导体设备制程厂房的微震监测装置 [P].

杜亚锋 .

中国专利 :CN116449414B ,2024-10-25

[2]

半导体设备制程厂房的微震监测装置 [P].

钱焱杰 ;

吕瑾 ;

沈静蔚 .

中国专利 :CN210894723U ,2020-06-30

[3]

一种半导体设备微震监测设备 [P].

陈松振 .

中国专利 :CN221977874U ,2024-11-08

[4]

应用于半导体设备的监测系统及半导体设备 [P].

王文寿 .

中国专利 :CN120998826A ,2025-11-21

[5]

一种应用于半导体设备制程厂房的微震监测方法和装置 [P].

袁淑娟 ;

张凯 ;

杨红芳 ;

张倩 ;

王欢 .

中国专利 :CN118483747A ,2024-08-13

[6]

半导体设备以及半导体制程方法 [P].

张永昌 ;

蔡孟吟 ;

刘东雄 ;

叶良佑 ;

李隽毅 ;

黄国希 .

中国专利 :CN110707021A ,2020-01-17

[7]

煤矿微震监测系统及监测方法 [P].

唐治 ;

李利萍 ;

唐巨鹏 .

中国专利 :CN104965219A ,2015-10-07

[8]

矿山微震监测系统 [P].

朱尚嵩 ;

石杰 ;

徐磊 ;

赵鑫 ;

蒋建清 ;

方治国 .

中国专利 :CN203050785U ,2013-07-10

[9]

半导体制程设备 [P].

张佑语 ;

黄俊尧 .

中国专利 :CN208938918U ,2019-06-04

[10]

半导体制程系统 [P].

张志逢 ;

陈伟仁 ;

李俊億 ;

林展永 .

中国专利 :CN212322971U ,2021-01-08

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