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化学气相沉积装置的密封结构及化学气相沉积装置
被引：0
申请号：
CN202122954024.9
申请日：
2021-11-29
公开(公告)号：
CN217104063U
公开(公告)日：
2022-08-02
发明(设计)人：
龙梅丽
申请人：
申请人地址：
510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
IPC主分类号：
C23C1644
IPC分类号：
C03C1700
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
吴萌
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-02 | 授权 | 授权 |