化学气相沉积装置、化学气相沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110319031.X

申请日：

2011-10-19

公开(公告)号：

CN103060772B

公开(公告)日：

2013-04-24

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-05	授权	授权
2013-04-24	公开	公开
2013-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101461520203 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:201110319031X 申请日:20111019

共 50 条

[1]

化学气相沉积装置 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223292634U ,2025-09-02

[2]

化学气相沉积装置和化学气相沉积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

直井弘之 ;

H·X·王 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1259450C ,2002-04-17

[3]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN118814133A ,2024-10-22

[4]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN102851651A ,2013-01-02

[5]

化学气相沉积装置 [P].

龙梅丽 .

中国专利 :CN216427410U ,2022-05-03

[6]

化学气相沉积装置 [P].

黄全德 ;

黄文正 .

中国专利 :CN1626698A ,2005-06-15

[7]

化学气相沉积装置 [P].

阿诺德·德雷胡泽 ;

雷米·皮埃尔·罗伯特·布维尔 ;

曼侬·费尔南德斯 .

法国专利 :CN118076765A ,2024-05-24

[8]

化学气相沉积装置 [P].

汪宇澄 ;

李一成 ;

陶成钢 ;

赵函一 ;

李冠龙 .

中国专利 :CN102534552A ,2012-07-04

[9]

化学气相沉积装置 [P].

刘忠范 ;

彭海琳 ;

高翾 ;

张金灿 ;

刘晓婷 ;

马瑞 ;

李广亮 ;

孙禄钊 ;

贾开诚 .

中国专利 :CN111485224A ,2020-08-04

[10]

化学气相沉积装置 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN222923230U ,2025-05-30

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