化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310117425.2

申请日：

2003-12-13

公开(公告)号：

CN1626698A

公开(公告)日：

2005-06-15

发明(设计)人：

黄全德黄文正

申请人：

申请人地址：

518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

C23C1600

IPC分类号：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-11-28	授权	授权
2005-06-15	公开	公开
2005-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效
2018-12-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/00 申请日:20031213 授权公告日:20071128 终止日期:20171213

共 50 条

[1]

化学气相沉积装置 [P].

汪宇澄 ;

李一成 ;

陈亮 ;

许国青 .

中国专利 :CN102560418A ,2012-07-11

[2]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[3]

化学气相沉积装置及其沉积方法 [P].

幸沛锦 ;

杜志游 .

中国专利 :CN106282969B ,2017-01-04

[4]

化学气相沉积装置 [P].

奚明 ;

萨尔瓦多 ;

林芳 ;

黄占超 .

中国专利 :CN103014666A ,2013-04-03

[5]

化学气相沉积装置 [P].

奚明 ;

马悦 ;

萨尔瓦多 ;

林芳 ;

黄占超 .

中国专利 :CN103014667A ,2013-04-03

[6]

化学气相沉积装置 [P].

阿诺德·德雷胡泽 ;

雷米·皮埃尔·罗伯特·布维尔 ;

曼侬·费尔南德斯 .

法国专利 :CN118076765A ,2024-05-24

[7]

化学气相沉积装置 [P].

汪宇澄 ;

李一成 ;

陶成钢 ;

赵函一 ;

李冠龙 .

中国专利 :CN102534552A ,2012-07-04

[8]

化学气相沉积装置 [P].

奚明 ;

马悦 ;

萨尔瓦多 ;

黄占超 .

中国专利 :CN103014668B ,2013-04-03

[9]

化学气相沉积装置 [P].

奚明 ;

马悦 ;

萨尔瓦多 ;

林芳 ;

黄占超 .

中国专利 :CN103014669B ,2013-04-03

[10]

化学气相沉积装置 [P].

杨贤烁 .

中国专利 :CN221275886U ,2024-07-05

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