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化学气相沉积装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110287512.7
申请日：
2011-09-23
公开(公告)号：
CN103014668B
公开(公告)日：
2013-04-03
发明(设计)人：
奚明
马悦
萨尔瓦多
黄占超
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江居里路1号
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
黄海霞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-04-03 | 公开 | 公开 |
| 2017-06-30 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754521389 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2011102875127 登记生效日:20170609 变更事项:专利权人 变更前权利人:理想能源设备(上海)有限公司 变更后权利人:理想晶延半导体设备(上海)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江居里路1号 变更后权利人:201614 上海市松江区思贤路3255号3幢402室 |
| 2014-12-24 | 授权 | 授权 |
| 2020-08-28 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更事项:专利权人 变更前:理想晶延半导体设备（上海）有限公司 变更后:理想晶延半导体设备（上海）股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201614 上海市松江区思贤路3255号3幢402室 变更后:201602 上海市松江区思贤路3255号3幢402室 |
| 2013-05-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101448951950 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2011102875127 申请日:20110923 |