化学气相沉积装置及化学气相沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411208883.5

申请日：

2024-08-30

公开(公告)号：

CN118814133A

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

刘忠范亓月杨钰垚袁昊

申请人：

北京石墨烯研究院北京大学

申请人地址：

100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C23C16/52 C23C16/26 C23C16/46

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

刘国萍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/44申请日:20240830
2024-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积装置 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN222948468U ,2025-06-06

[2]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN102851651A ,2013-01-02

[3]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[4]

化学气相沉积装置和化学气相沉积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

直井弘之 ;

H·X·王 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1259450C ,2002-04-17

[5]

化学气相沉积装置及化学气相沉积系统 [P].

杨耀辉 ;

胡文华 ;

梅治民 ;

王维维 ;

俞方旭 ;

席洪峰 ;

罗治湘 .

中国专利 :CN118086872A ,2024-05-28

[6]

化学气相沉积炉及化学气相沉积装置 [P].

杨竣焜 .

中国专利 :CN120575152A ,2025-09-02

[7]

化学气相沉积装置 [P].

刘忠范 ;

彭海琳 ;

高翾 ;

张金灿 ;

刘晓婷 ;

马瑞 ;

李广亮 ;

孙禄钊 ;

贾开诚 .

中国专利 :CN111485224A ,2020-08-04

[8]

化学气相沉积装置 [P].

张宇顺 .

中国专利 :CN206204417U ,2017-05-31

[9]

化学气相沉积装置 [P].

刘忠范 ;

彭海琳 ;

高翾 ;

张金灿 ;

刘晓婷 ;

马瑞 ;

李广亮 ;

孙禄钊 ;

贾开诚 .

中国专利 :CN111485224B ,2024-08-23

[10]

化学气相沉积装置及其沉积方法 [P].

张宇顺 .

中国专利 :CN106367735B ,2017-02-01

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