化学气相沉积装置及其沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611029745.6

申请日：

2016-11-14

公开(公告)号：

CN106367735B

公开(公告)日：

2017-02-01

发明(设计)人：

张宇顺

申请人：

申请人地址：

523399 广东省东莞市塘厦镇横塘128工业区东莞金字塔绿色科技有限公司

IPC主分类号：

C23C16505

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

张海英;林波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101705812341 IPC(主分类):C23C 16/505 专利申请号:2016110297456 申请日:20161114
2021-10-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/505 申请日:20161114 授权公告日:20190618 终止日期:20201114
2019-06-18	授权	授权
2017-02-01	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积装置 [P].

张宇顺 .

中国专利 :CN206204417U ,2017-05-31

[2]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN118814133A ,2024-10-22

[3]

化学气相沉积装置及其沉积方法 [P].

幸沛锦 ;

杜志游 .

中国专利 :CN106282969B ,2017-01-04

[4]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[5]

化学气相沉积装置和化学气相沉积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

直井弘之 ;

H·X·王 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1259450C ,2002-04-17

[6]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN102851651A ,2013-01-02

[7]

化学气相沉积装置 [P].

李海滨 ;

许明伟 ;

樊晓兵 .

中国专利 :CN118547267A ,2024-08-27

[8]

化学气相沉积装置 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN222948468U ,2025-06-06

[9]

化学气相沉积装置 [P].

李海滨 ;

许明伟 ;

樊晓兵 .

中国专利 :CN118547267B ,2025-12-26

[10]

化学气相沉积装置 [P].

王国超 .

中国专利 :CN107083543B ,2017-08-22

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