形成自动对准接触窗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310124495.0

申请日：

2003-12-25

公开(公告)号：

CN1632923A

公开(公告)日：

2005-06-29

发明(设计)人：

黄水钦陈建宏

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路3号

IPC主分类号：

H01L2130

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

任永武

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-06-29	公开	公开
2005-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-09-05	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[41]

接触孔的形成方法 [P].

陈俊哲 ;

叶芳裕 ;

林涵智 ;

陈进贤 .

中国专利 :CN1481015A ,2004-03-10

[42]

接触孔的形成方法 [P].

夏建慧 ;

顾以理 ;

奚裴 ;

张博 ;

张雄 .

中国专利 :CN102522370A ,2012-06-27

[43]

接触孔的形成方法 [P].

韩秋华 ;

陈海华 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101651116A ,2010-02-17

[44]

位线接触的形成方法 [P].

杨中辉 ;

陈文丽 ;

蔡信裕 ;

孙智江 .

中国专利 :CN101312152A ,2008-11-26

[45]

接触孔的形成方法 [P].

彭鑫堂 ;

王永进 ;

杨登峻 .

中国专利 :CN1469434A ,2004-01-21

[46]

自行对准接触窗开口的制作方法与半导体元件 [P].

王炳尧 ;

赖亮全 ;

杨政桓 .

中国专利 :CN1917147A ,2007-02-21

[47]

接触孔的形成方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN102087992A ,2011-06-08

[48]

形成接触部的方法及制造位线结构和存储节点接触的方法 [P].

李相遇 ;

安重镒 ;

金成基 ;

熊文娟 ;

蒋浩杰 ;

李亭亭 ;

崔恒玮 ;

罗英 .

中国专利 :CN114695265A ,2022-07-01

[49]

自动对准硅化物的制造方法 [P].

卢火铁 ;

林建廷 .

中国专利 :CN1195889A ,1998-10-14

[50]

测算接触孔与多晶硅栅极对准偏差值的方法 [P].

范荣伟 ;

顾晓芳 ;

龙吟 ;

倪棋梁 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN103354211A ,2013-10-16

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