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形成自动对准接触窗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200310124495.0
申请日：
2003-12-25
公开(公告)号：
CN1632923A
公开(公告)日：
2005-06-29
发明(设计)人：
黄水钦
陈建宏
申请人：
申请人地址：
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路3号
IPC主分类号：
H01L2130
IPC分类号：
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司
代理人：
任永武
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2005-06-29 | 公开 | 公开 |
| 2005-08-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2007-09-05 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |