基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210167128.8

申请日：

2012-05-23

公开(公告)号：

CN102954764B

公开(公告)日：

2013-03-06

发明(设计)人：

石垣裕之

申请人：

申请人地址：

日本国爱知县

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

G01B1124

代理机构：

北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216

代理人：

刘激扬

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-06	公开	公开
2013-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101430521094 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2012101671288 申请日:20120523
2015-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

基板检查装置和部件安装装置 [P].

奥田学 ;

大山刚 ;

坂井田宪彦 .

中国专利 :CN104853581A ,2015-08-19

[2]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09

[3]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[4]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[5]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN101191811A ,2008-06-04

[6]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

角田晴美 .

中国专利 :CN101454680A ,2009-06-10

[7]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

中国专利 :CN110739240A ,2020-01-31

[8]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

中村昭彦 ;

铃木芳邦 .

中国专利 :CN1815250B ,2006-08-09

[9]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

日本专利 :CN110739240B ,2024-06-28

[10]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 ;

辻英明 .

中国专利 :CN102879646B ,2013-01-16

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