一种半导体器件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310340764.0

申请日：

2013-08-06

公开(公告)号：

CN104347487A

公开(公告)日：

2015-02-11

发明(设计)人：

赵简曹轶宾

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;高伟

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20150211
2015-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101601520454 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013103407640 申请日:20130806
2015-02-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种半导体器件的制造方法 [P].

赵简 ;

曹轶宾 ;

王杭萍 .

中国专利 :CN104241114B ,2014-12-24

[2]

一种半导体器件的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104733373B ,2015-06-24

[3]

一种半导体器件的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103943551A ,2014-07-23

[4]

一种半导体器件的制造方法 [P].

曹轶宾 ;

赵简 .

中国专利 :CN104183540A ,2014-12-03

[5]

一种制作半导体器件的方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104051322A ,2014-09-17

[6]

半导体器件的制造方法 [P].

向磊 ;

郭莉莉 ;

马莉娜 .

中国专利 :CN112185805A ,2021-01-05

[7]

一种半导体器件的制造方法 [P].

赵简 ;

曹轶宾 .

中国专利 :CN104183539A ,2014-12-03

[8]

一种半导体器件的制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102931129A ,2013-02-13

[9]

一种半导体器件的制造方法 [P].

胡宗福 .

中国专利 :CN104681484A ,2015-06-03

[10]

一种半导体器件的制造方法 [P].

伏广才 ;

叶星 .

中国专利 :CN104851779B ,2015-08-19

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