光掩模和光掩模的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910348874.9

申请日：

2013-10-12

公开(公告)号：

CN110147029B

公开(公告)日：

2019-08-20

发明(设计)人：

山口昇

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F176

IPC分类号：

G03F154 H01L21027

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

李辉;黄纶伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-07	授权	授权
2019-08-20	公开	公开
2019-09-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/76 申请日:20131012

共 50 条

[1]

光掩模基板的制造方法、光掩模基板、光掩模的制造方法和光掩模 [P].

宫崎由宽 .

中国专利 :CN110967919A ,2020-04-07

[2]

光掩模和光掩模的制造方法 [P].

吉田光一郎 ;

井村和久 .

中国专利 :CN101373323A ,2009-02-25

[3]

光掩模坯料、光掩模及光掩模的制造方法 [P].

野泽顺 .

中国专利 :CN101556432A ,2009-10-14

[4]

光掩模和光掩模的制造方法 [P].

田中千惠 ;

坂东宏树 ;

川原未佑 ;

山田慎吾 ;

森山久美子 .

日本专利 :CN118672050A ,2024-09-20

[5]

光掩模的修正方法、光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

三好将之 ;

一之濑敬 .

中国专利 :CN109388018B ,2019-02-26

[6]

光掩模和光掩模坯以及光掩模的制造方法 [P].

山田慎吾 ;

森山久美子 ;

美作昌宏 .

中国专利 :CN108693697B ,2018-10-23

[7]

光掩模、光掩模组、光掩模及显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

中国专利 :CN105911812A ,2016-08-31

[8]

光掩模的制造方法和光掩模坯 [P].

笹本纮平 .

中国专利 :CN113867098A ,2021-12-31

[9]

光掩模坯、光掩模以及光掩模的制造方法 [P].

松井一晃 ;

小岛洋介 .

日本专利 :CN118401890A ,2024-07-26

[10]

光掩模坯料、光掩模及光掩模的制造方法 [P].

坂本好史 ;

小岛洋介 ;

长友达也 .

中国专利 :CN110462510A ,2019-11-15

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