一种晶圆切割分离装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921763766.X

申请日：

2019-10-21

公开(公告)号：

CN211518101U

公开(公告)日：

2020-09-18

发明(设计)人：

陆孙华

申请人：

申请人地址：

215228 江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房

IPC主分类号：

B28D502

IPC分类号：

B28D704 B28D700

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

吴东勤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆切割分离装置 [P].

殷泽安 ;

刘操 .

中国专利 :CN217434712U ,2022-09-16

[2]

一种晶圆切割分离装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204332920U ,2015-05-13

[3]

一种晶圆切割分离装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN104576460A ,2015-04-29

[4]

一种晶圆分离装置 [P].

吴海东 ;

郑文 ;

胡生 .

中国专利 :CN217405371U ,2022-09-09

[5]

一种晶圆切割装置 [P].

丁波 ;

李铁 ;

陈瀚 ;

侯金松 ;

杭海燕 ;

谷卫东 .

中国专利 :CN220362821U ,2024-01-19

[6]

一种晶圆切割装置 [P].

徐晶骥 ;

刘美交 .

中国专利 :CN220278589U ,2024-01-02

[7]

晶圆分离装置 [P].

曹振鹏 ;

张向鹏 ;

罗斌 ;

姚志勇 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN221861590U ,2024-10-18

[8]

晶圆切割装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204505584U ,2015-07-29

[9]

晶圆切割装置 [P].

万先进 ;

肖儒良 ;

朱松 ;

谢亚楠 ;

陈浩 ;

锁志勇 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223630648U ,2025-12-05

[10]

一种晶圆切割定位装置 [P].

殷泽安 .

中国专利 :CN218170967U ,2022-12-30

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