制备大高宽比衍射光学元件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110027351.8

申请日：

2011-01-25

公开(公告)号：

CN102608863A

公开(公告)日：

2012-07-25

发明(设计)人：

谢常青李海亮朱效立史丽娜

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

宋焰琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-25	公开	公开
2012-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101328711328 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2011100273518 申请日:20110125
2014-01-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101686140648 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2011100273518 申请公布日:20120725

共 50 条

[1]

基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法 [P].

李海亮 ;

谢常青 ;

朱效立 ;

史丽娜 ;

刘明 .

中国专利 :CN102683167A ,2012-09-19

[2]

一种大高宽比衍射光学元件的制作方法 [P].

谢常青 ;

李海亮 ;

史丽娜 ;

朱效立 ;

刘明 .

中国专利 :CN102466967B ,2012-05-23

[3]

衍射光学元件的制备方法及衍射光学元件 [P].

蔡佳雨 ;

赵辉 .

中国专利 :CN112873922A ,2021-06-01

[4]

衍射光学元件及衍射光学元件的制造方法 [P].

冈田夕佳 ;

末永辰敏 ;

村田晶子 .

中国专利 :CN103097926A ,2013-05-08

[5]

衍射光学元件与衍射光学元件的制造方法 [P].

张志圣 ;

蔡孟珂 ;

盛崇恺 .

中国专利 :CN112578491A ,2021-03-30

[6]

衍射光学元件及衍射光学元件的制造方法 [P].

村田晶子 ;

冈田夕佳 .

中国专利 :CN102741715A ,2012-10-17

[7]

衍射光学元件以及衍射光学元件的制造方法 [P].

前野仁典 .

中国专利 :CN1877372A ,2006-12-13

[8]

衍射光学元件及衍射光学元件的制造方法 [P].

铃木宪三郎 .

中国专利 :CN1860387A ,2006-11-08

[9]

衍射光学元件的制造方法 [P].

关川亮 ;

前野仁典 .

中国专利 :CN100523879C ,2008-04-30

[10]

衍射光学元件、衍射光学元件的制造方法、以及衍射光学元件的制造方法中使用的模具 [P].

冈田夕佳 ;

松冈耕一朗 .

中国专利 :CN104520736A ,2015-04-15

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