一种大高宽比衍射光学元件的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010544430.1

申请日：

2010-11-12

公开(公告)号：

CN102466967B

公开(公告)日：

2012-05-23

发明(设计)人：

谢常青李海亮史丽娜朱效立刘明

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

G03F720 G02B518

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

周国城

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-23	公开	公开
2012-07-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101282316080 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2010105444301 申请日:20101112
2014-03-26	授权	授权

共 50 条

[1]

制备大高宽比衍射光学元件的方法 [P].

谢常青 ;

李海亮 ;

朱效立 ;

史丽娜 .

中国专利 :CN102608863A ,2012-07-25

[2]

一种衍射光学元件的制作方法 [P].

张保平 ;

左海杰 ;

张江勇 ;

应磊莹 .

中国专利 :CN103969724A ,2014-08-06

[3]

一种超分辨微结构衍射光学元件的制作方法 [P].

乐孜纯 ;

董文 .

中国专利 :CN1710449A ,2005-12-21

[4]

一种衍射光学元件取值模型、衍射光学元件及其制作方法 [P].

桑建新 ;

万华松 .

中国专利 :CN111427107B ,2020-07-17

[5]

基于纳米岛衬底制备大高宽比X射线衍射光学元件的方法 [P].

李海亮 ;

谢常青 ;

朱效立 ;

史丽娜 ;

刘明 .

中国专利 :CN102683167A ,2012-09-19

[6]

任意结构衍射光学元件的制作方法 [P].

郑敏 .

中国专利 :CN104280801A ,2015-01-14

[7]

衍射光学元件结构及制作方法 [P].

李凡月 .

中国专利 :CN107300731A ,2017-10-27

[8]

一种制作大高宽比X射线衍射光栅的方法 [P].

谢常青 ;

方磊 ;

朱效立 ;

李冬梅 ;

刘明 .

中国专利 :CN102590915A ,2012-07-18

[9]

一种全息瞄准镜衍射光学元件的制作方法 [P].

蔡志坚 ;

鄢红日 .

中国专利 :CN107544107A ,2018-01-05

[10]

一种柱面基底衍射光学元件的制作方法 [P].

刘娟 ;

王绪刚 ;

张楠楠 ;

韩剑 ;

王涌天 .

中国专利 :CN104090317A ,2014-10-08

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