自动调节硅片制绒工艺的装置

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专利类型
发明
申请号
CN201410748135.6
申请日
2014-12-10
公开(公告)号
CN104538330A
公开(公告)日
2015-04-22
发明(设计)人
陶龙忠 乐雄英 杨灼坚 张尧 李海波
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市开发区前进东路科技广场八楼
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
H01L3118
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
自动调节硅片制绒工艺的装置 [P]. 
陶龙忠 ;
乐雄英 ;
杨灼坚 ;
张尧 ;
李海波 .
中国专利 :CN204480999U ,2015-07-15
[2]
硅片制绒设备及制绒工艺 [P]. 
张逸凡 ;
王英杰 ;
任坚强 .
中国专利 :CN120511206A ,2025-08-19
[3]
硅片的制绒工艺 [P]. 
王登志 ;
王栩生 .
中国专利 :CN104201247A ,2014-12-10
[4]
硅片制绒工艺 [P]. 
邓舜 ;
马琦雯 .
中国专利 :CN113066903B ,2021-07-02
[5]
一种晶体硅片的制绒设备及制绒工艺方法 [P]. 
邓建华 ;
左国军 .
中国专利 :CN103441070B ,2013-12-11
[6]
硅片清洗制绒工艺 [P]. 
陈五奎 ;
刘强 ;
耿荣军 .
中国专利 :CN107968130B ,2018-04-27
[7]
硅片制绒装置和硅片制绒设备 [P]. 
丁力 ;
张玉 ;
李明阳 ;
丁志强 ;
周兴宝 .
中国专利 :CN223639624U ,2025-12-05
[8]
一种硅片制绒装置以及制绒工艺 [P]. 
孙林 .
中国专利 :CN115020548A ,2022-09-06
[9]
多晶硅片的制绒工艺 [P]. 
张兆民 .
中国专利 :CN107059136A ,2017-08-18
[10]
多晶硅片的制绒工艺 [P]. 
邬时伟 .
中国专利 :CN104009125B ,2014-08-27