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一种光刻机用晶圆片匀胶装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721240564.8
申请日：
2017-09-26
公开(公告)号：
CN207337070U
公开(公告)日：
2018-05-08
发明(设计)人：
吴琼
唐进强
申请人：
申请人地址：
350000 福建省福州市闽侯县南屿镇新联村6号
IPC主分类号：
G03F716
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-05-08 | 授权 | 授权 |