一种光刻机用多尺寸晶圆载片台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420599432.8

申请日：

2024-03-26

公开(公告)号：

CN221960408U

公开(公告)日：

2024-11-05

发明(设计)人：

徐卫星

申请人：

赛光半导体科技（苏州）有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市周市镇金茂路900号4号房

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

深圳众邦专利代理有限公司 44545

代理人：

曹前

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机晶圆载台 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208689361U ,2019-04-02

[2]

光刻机晶圆载台 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110750033A ,2020-02-04

[3]

一种光刻机晶圆载台 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN220730632U ,2024-04-05

[4]

一种光刻机用晶圆片匀胶装置 [P].

侯玉闯 ;

薛鹏 .

中国专利 :CN108646517A ,2018-10-12

[5]

一种用于光刻机的晶圆载台 [P].

周杰 ;

张琪 ;

符友银 ;

李俊毅 .

中国专利 :CN112614805A ,2021-04-06

[6]

晶圆载台清洁装置及光刻机台 [P].

张童 ;

冯泳强 ;

刘洋 ;

杨鑫鑫 .

中国专利 :CN223108260U ,2025-07-15

[7]

晶圆载台装置及光刻机 [P].

金成昱 ;

申相旭 .

中国专利 :CN223155376U ,2025-07-25

[8]

一种光刻机用晶圆片匀胶装置 [P].

卫广连 ;

叶东国 ;

付志江 .

中国专利 :CN213715698U ,2021-07-16

[9]

一种光刻机用晶圆片匀胶装置 [P].

孙晓东 ;

闻杰 .

中国专利 :CN220290026U ,2024-01-02

[10]

一种光刻机用晶圆片匀胶装置 [P].

刘健 .

中国专利 :CN214375811U ,2021-10-08

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