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一种光刻机用晶圆片匀胶装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810534084.5
申请日：
2018-05-29
公开(公告)号：
CN108646517A
公开(公告)日：
2018-10-12
发明(设计)人：
侯玉闯
薛鹏
申请人：
申请人地址：
210008 江苏省南京市汉口路22号南京大学
IPC主分类号：
G03F716
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-08 | 授权 | 授权 |
| 2021-06-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F 7/16 登记生效日:20210519 变更事项:申请人 变更前权利人:侯玉闯 变更后权利人:江西维易尔半导体设备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:210008 江苏省南京市汉口路22号南京大学 变更后权利人:334000 江西省上饶市经济技术开发区光电创谷路9号厂房 |
| 2018-10-12 | 公开 | 公开 |
| 2018-11-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20180529 |