一种实现p型栅增强型HEMT器件的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911308180.9

申请日：

2019-12-18

公开(公告)号：

CN111081545A

公开(公告)日：

2020-04-28

发明(设计)人：

李国强孙佩椰万利军阙显沣姚书南梁敬晗

申请人：

申请人地址：

510640 广东省广州市天河区五山路381号

IPC主分类号：

H01L21335

IPC分类号：

H01L213065 H01L2167

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

王东东

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/335 申请公布日:20200428
2020-04-28	公开	公开
2020-05-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/335 申请日:20191218

共 50 条

[1]

p型栅增强型HEMT器件 [P].

张宝顺 ;

徐宁 ;

杜仲凯 .

中国专利 :CN208819832U ,2019-05-03

[2]

p型栅增强型HEMT器件及其制作方法 [P].

张宝顺 ;

徐宁 ;

杜仲凯 .

中国专利 :CN108962752A ,2018-12-07

[3]

降低注入损伤实现增强型HEMT器件的方法及增强型HEMT器件 [P].

于国浩 ;

张志利 ;

蔡勇 ;

张宝顺 ;

付凯 ;

孙世闯 ;

宋亮 .

中国专利 :CN106206695A ,2016-12-07

[4]

通过p型钝化实现增强型HEMT的方法及增强型HEMT [P].

宋亮 ;

郝荣晖 ;

付凯 ;

张志利 ;

孙世闯 ;

李维毅 ;

李夏珺 ;

袁洁 ;

于国浩 ;

邓旭光 ;

范亚明 ;

蔡勇 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN105870013A ,2016-08-17

[5]

P型栅增强型HEMT器件及其制备方法 [P].

谢勇 .

中国专利 :CN115312599A ,2022-11-08

[6]

湿法腐蚀实现凹栅增强型HEMT器件的方法 [P].

刘伟宁 ;

于国浩 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN112420513A ,2021-02-26

[7]

湿法腐蚀实现凹栅增强型HEMT器件的方法 [P].

刘伟宁 ;

于国浩 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN112420513B ,2025-03-04

[8]

一种增强型P型栅GaN HEMT器件的制作方法 [P].

林书勋 .

中国专利 :CN107180759A ,2017-09-19

[9]

通过p型钝化实现增强型HEMT的方法 [P].

宋亮 ;

郝荣晖 ;

付凯 ;

于国浩 ;

张晓东 ;

范亚明 ;

蔡勇 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN113380623A ,2021-09-10

[10]

含双栅增强型HEMT器件的集成系统 [P].

于国浩 ;

蔡勇 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN102857202B ,2013-01-02

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