一种氧化锌/氧化镍透明薄膜晶体管及制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202110219343.7
申请日
2021-02-27
公开(公告)号
CN112909096A
公开(公告)日
2021-06-04
发明(设计)人
蔡杰
申请人
申请人地址
610041 四川省成都市武侯区望江路1号20幢3层1号
IPC主分类号
H01L29786
IPC分类号
H01L21336
代理机构
代理人
法律状态
专利申请权、专利权的转移
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共 50 条
[1]
氧化锌基薄膜晶体管及芯片制备工艺 [P]. 
吴惠桢 ;
余萍 ;
梁军 ;
徐天宁 .
中国专利 :CN1862834A ,2006-11-15
[2]
氧化锌锡薄膜及制备方法、薄膜晶体管及制备方法 [P]. 
邱勇 ;
赵云龙 ;
段炼 .
中国专利 :CN103510086A ,2014-01-15
[3]
一种氧化锌基薄膜晶体管及其制作方法 [P]. 
张希清 ;
周东站 ;
王海龙 ;
李彬 ;
高耸 ;
彭云飞 ;
王永生 .
中国专利 :CN103280463A ,2013-09-04
[4]
一种氧化锌基薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
韩德栋 ;
王漪 ;
张盛东 ;
孙雷 ;
张韬 ;
任奕成 ;
韩汝琦 .
中国专利 :CN102403360A ,2012-04-04
[5]
一种氧化锌薄膜晶体管 [P]. 
刘伟 ;
吴远志 ;
叶拓 ;
毛祖莉 ;
邓彬 .
中国专利 :CN208045507U ,2018-11-02
[6]
一种掺钼氧化锌薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
韩德栋 ;
石盼 ;
王漪 ;
丛瑛瑛 ;
董俊辰 ;
周晓梁 ;
郁文 ;
张翼 ;
黄伶灵 ;
刘力锋 ;
张盛东 ;
刘晓彦 ;
康晋锋 .
中国专利 :CN104716195A ,2015-06-17
[7]
一种掺钙氧化锌薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
韩德栋 ;
郁文 ;
王漪 ;
石盼 ;
丛瑛瑛 ;
张翼 ;
董俊辰 ;
周晓梁 ;
黄伶灵 ;
张盛东 ;
刘力锋 ;
刘晓彦 ;
康晋锋 .
中国专利 :CN104766892A ,2015-07-08
[8]
薄膜晶体管及用于薄膜晶体管的氧化锌基溅射靶 [P]. 
朴在佑 ;
李伦圭 ;
金度贤 ;
金东朝 ;
朴柱玉 ;
孙仁成 ;
尹相元 ;
李建孝 ;
李镕晋 ;
全祐奭 .
中国专利 :CN103531638A ,2014-01-22
[9]
氧化锌薄膜的制造方法、薄膜晶体管的制造方法、氧化锌薄膜、薄膜晶体管和透明氧化物配线 [P]. 
中积诚 ;
西康孝 .
中国专利 :CN104428453A ,2015-03-18
[10]
柔性氧化锌镁薄膜晶体管及其制造方法 [P]. 
秦国轩 ;
刘家立 .
中国专利 :CN110931567A ,2020-03-27