一种金刚线切割硅片的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210320133.8

申请日：

2012-08-31

公开(公告)号：

CN103658096A

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

崔三观蔡龙袁刚刘学杨长剑

申请人：

申请人地址：

314117 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业园区宝群路8号

IPC主分类号：

B08B308

IPC分类号：

B08B312 B08B302

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王宝筠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581691980 IPC(主分类):B08B 3/08 专利申请号:2012103201338 申请日:20120831
2014-03-26	公开	公开
2022-08-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/08 申请日:20120831 授权公告日:20151021 终止日期:20210831
2015-10-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种金刚线切割后的硅片清洗方法 [P].

刘宝华 ;

任崇荣 ;

谷燕铂 ;

李东东 ;

王立明 ;

任欢欢 ;

梁玲 ;

赵强 ;

王莹 .

中国专利 :CN107240546B ,2017-10-10

[2]

金刚线切割硅片清洗装置 [P].

周文广 .

中国专利 :CN207013368U ,2018-02-16

[3]

一种金刚线切割硅片的清洗方法 [P].

李毕武 ;

唐传兵 ;

刘振淮 ;

黄振飞 .

中国专利 :CN102225406B ,2011-10-26

[4]

一种金刚线切割硅片清洗装置 [P].

张丹丹 ;

刘磊石 ;

刘诗蒙 .

中国专利 :CN222494913U ,2025-02-18

[5]

一种金刚线切割硅片的方法 [P].

朱超 ;

王涛 ;

宋保业 ;

李元 .

中国专利 :CN112776197A ,2021-05-11

[6]

一种金刚线切割硅片清洗装置 [P].

邹文龙 ;

张力峰 .

中国专利 :CN216120220U ,2022-03-22

[7]

金刚线切割硅片的方法 [P].

周文广 .

中国专利 :CN110142886A ,2019-08-20

[8]

一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置 [P].

赵向阳 ;

华成 .

中国专利 :CN210625149U ,2020-05-26

[9]

一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法 [P].

范维涛 ;

龚小文 ;

张鑫 ;

苏杨杨 ;

王卫国 .

中国专利 :CN107868983A ,2018-04-03

[10]

一种利用金刚线切割硅片的方法 [P].

王会敏 ;

张浩强 ;

张立涛 ;

菅书永 ;

李会冈 .

中国专利 :CN108556162A ,2018-09-21

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