一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920992366.X

申请日：

2019-06-28

公开(公告)号：

CN210625149U

公开(公告)日：

2020-05-26

发明(设计)人：

赵向阳华成

申请人：

申请人地址：

225800 江苏省扬州市宝应县氾水镇工业集中区跃胜路

IPC主分类号：

F26B906

IPC分类号：

F26B2100 F26B2518 B08B304 B08B308 B08B312

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

王峰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-26	授权	授权
2022-06-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F26B 9/06 申请日:20190628 授权公告日:20200526 终止日期:20210628

共 50 条

[1]

金刚线切割硅片清洗装置 [P].

周文广 .

中国专利 :CN207013368U ,2018-02-16

[2]

一种金刚线切割硅片清洗装置 [P].

张丹丹 ;

刘磊石 ;

刘诗蒙 .

中国专利 :CN222494913U ,2025-02-18

[3]

一种金刚线切割硅片清洗装置 [P].

邹文龙 ;

张力峰 .

中国专利 :CN216120220U ,2022-03-22

[4]

一种金刚线切割硅片的清洗方法 [P].

崔三观 ;

蔡龙 ;

袁刚 ;

刘学 ;

杨长剑 .

中国专利 :CN103658096A ,2014-03-26

[5]

一种金刚线切割硅片的清洗方法 [P].

李毕武 ;

唐传兵 ;

刘振淮 ;

黄振飞 .

中国专利 :CN102225406B ,2011-10-26

[6]

一种应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置 [P].

任丽 ;

褚世君 .

中国专利 :CN207119583U ,2018-03-20

[7]

一种金刚线切割后的硅片清洗方法 [P].

刘宝华 ;

任崇荣 ;

谷燕铂 ;

李东东 ;

王立明 ;

任欢欢 ;

梁玲 ;

赵强 ;

王莹 .

中国专利 :CN107240546B ,2017-10-10

[8]

一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置 [P].

邹文龙 ;

张力峰 .

中国专利 :CN215997737U ,2022-03-11

[9]

一种利用金刚线切割的硅片成型装置 [P].

赵卫东 ;

刘旦生 ;

鞠飞 ;

王斯明 ;

刘才广 ;

江兴峰 .

中国专利 :CN212421828U ,2021-01-29

[10]

一种硅片生产用金刚线切割的装置 [P].

徐国华 ;

朱晴峰 ;

裘永恒 ;

王江杰 ;

肖凌超 .

中国专利 :CN206855794U ,2018-01-09

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