一种金刚线切割硅片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122228109.9

申请日：

2021-09-15

公开(公告)号：

CN216120220U

公开(公告)日：

2022-03-22

发明(设计)人：

邹文龙张力峰

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B1102

代理机构：

苏州国卓知识产权代理有限公司 32331

代理人：

马德龙

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-22	授权	授权

共 50 条

[1]

金刚线切割硅片清洗装置 [P].

周文广 .

中国专利 :CN207013368U ,2018-02-16

[2]

一种金刚线切割硅片清洗装置 [P].

张丹丹 ;

刘磊石 ;

刘诗蒙 .

中国专利 :CN222494913U ,2025-02-18

[3]

一种金刚线切割硅片清洗的烘干装置 [P].

赵向阳 ;

华成 .

中国专利 :CN210625149U ,2020-05-26

[4]

一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置 [P].

邹文龙 ;

张力峰 .

中国专利 :CN215997737U ,2022-03-11

[5]

一种金刚线切割片清洗装置 [P].

张洪旺 ;

史卫利 .

中国专利 :CN207592348U ,2018-07-10

[6]

一种应用于金刚线切割工艺的硅片清洗装置 [P].

任丽 ;

褚世君 .

中国专利 :CN207119583U ,2018-03-20

[7]

金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置 [P].

尹辰 ;

李淑丽 ;

赵可武 ;

张骏凯 ;

高攀红 ;

左亚莲 .

中国专利 :CN203002693U ,2013-06-19

[8]

一种金刚线切割硅片的清洗方法 [P].

崔三观 ;

蔡龙 ;

袁刚 ;

刘学 ;

杨长剑 .

中国专利 :CN103658096A ,2014-03-26

[9]

一种金刚线切割硅片的清洗方法 [P].

李毕武 ;

唐传兵 ;

刘振淮 ;

黄振飞 .

中国专利 :CN102225406B ,2011-10-26

[10]

一种金刚线切割多晶硅片装置 [P].

光善如 .

中国专利 :CN217414525U ,2022-09-13

← 1 2 3 4 5 →