晶圆加工装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821967353.9

申请日：

2018-11-27

公开(公告)号：

CN208923049U

公开(公告)日：

2019-05-31

发明(设计)人：

吴振维王海宽吴龙江林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2168 H01L21304

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆加工装置 [P].

刘军 .

中国专利 :CN210378983U ,2020-04-21

[2]

晶圆加工装置 [P].

吴华 ;

袁保存 ;

徐振光 .

中国专利 :CN115056135A ,2022-09-16

[3]

晶圆加工装置 [P].

梁学玉 .

中国专利 :CN113363198A ,2021-09-07

[4]

晶圆加工装置 [P].

孙传恽 ;

李长坤 ;

许振杰 ;

张海鹏 .

中国专利 :CN120149201A ,2025-06-13

[5]

晶圆加工装置 [P].

郭帅 ;

宋海 ;

王秉国 ;

王孝进 ;

潘国卫 ;

蒲浩 .

中国专利 :CN109950143B ,2019-06-28

[6]

晶圆加工装置 [P].

代迎伟 ;

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN104867846A ,2015-08-26

[7]

晶圆加工装置 [P].

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN104625941A ,2015-05-20

[8]

晶圆加工装置 [P].

金一诺 ;

王坚 ;

王晖 .

中国专利 :CN104637836A ,2015-05-20

[9]

晶圆加工装置 [P].

陈厚泽 .

中国专利 :CN119812037A ,2025-04-11

[10]

晶圆加工方法及晶圆加工装置 [P].

高阳 ;

张宁宁 ;

葛凡 ;

周鑫 ;

蔡国庆 .

中国专利 :CN114582713A ,2022-06-03

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