一种微机电系统压力传感器检测系统及其检测方法

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专利类型
发明
申请号
CN201910955022.6
申请日
2019-10-09
公开(公告)号
CN110672264A
公开(公告)日
2020-01-10
发明(设计)人
王小平 曹万 梁世豪 熊波
申请人
申请人地址
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道818号高科医疗器械园B区12号楼3层2号(自贸区武汉片区)
IPC主分类号
G01L2500
IPC分类号
G01L2700
代理机构
上海精晟知识产权代理有限公司 31253
代理人
周琼
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
压力传感器检测系统及其检测方法 [P]. 
马文选 .
中国专利 :CN101979979A ,2011-02-23
[2]
微机电系统压力传感器 [P]. 
刘迪 ;
李刚 ;
胡维 .
中国专利 :CN212246207U ,2020-12-29
[3]
微机电系统压力传感器 [P]. 
伏广才 ;
张先明 ;
杨天伦 .
中国专利 :CN105300591A ,2016-02-03
[4]
微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 [P]. 
黎坡 .
中国专利 :CN103063351A ,2013-04-24
[5]
微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 [P]. 
黎坡 .
中国专利 :CN103063352A ,2013-04-24
[6]
微机电系统压力传感器及其制作方法 [P]. 
刘蓓 .
中国专利 :CN101450786B ,2009-06-10
[7]
微机电系统压力传感器及其制造方法 [P]. 
刘迪 ;
李刚 ;
胡维 .
中国专利 :CN113620235A ,2021-11-09
[8]
一种微机电系统压力传感器和微机电系统压力换能器 [P]. 
缪建民 ;
张瑞珍 ;
李绪民 ;
王志宏 .
中国专利 :CN117990240B ,2024-07-02
[9]
一种微机电系统压力传感器和微机电系统压力换能器 [P]. 
缪建民 ;
张瑞珍 ;
李绪民 ;
王志宏 .
中国专利 :CN117990240A ,2024-05-07
[10]
压力传感器检测系统 [P]. 
陈风顺 ;
王栋潇 ;
董亮 ;
王守东 .
中国专利 :CN220912555U ,2024-05-07