直立式靶材结构以及溅镀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620450325.4

申请日：

2016-05-17

公开(公告)号：

CN205590795U

公开(公告)日：

2016-09-21

发明(设计)人：

巫喜钰蔡博旭

申请人：

申请人地址：

中国台湾桃园市龙潭区325华映路1号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279

代理人：

王正茂;丛芳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20160517 授权公告日:20160921 终止日期:20200517
2016-09-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种靶材溅镀设备以及靶材溅镀系统 [P].

严鹏 .

中国专利 :CN111286712B ,2020-06-16

[2]

靶材结构及其溅镀设备 [P].

陈维燕 .

中国专利 :CN201834964U ,2011-05-18

[3]

溅镀靶材 [P].

黄民育 ;

张廖万民 ;

陈志豪 ;

韩中明 .

中国专利 :CN212505048U ,2021-02-09

[4]

溅镀靶材组件 [P].

细川昭弘 ;

J·M·怀特 ;

任东吉 .

中国专利 :CN205275690U ,2016-06-01

[5]

直立式堤防结构 [P].

阮龙飞 ;

王永庆 ;

张宁 .

中国专利 :CN211621441U ,2020-10-02

[6]

直立式窗帘结构 [P].

庄善棋 .

中国专利 :CN215650444U ,2022-01-28

[7]

真空离子溅镀靶材 [P].

戴明光 ;

林政乾 .

中国专利 :CN2786147Y ,2006-06-07

[8]

溅镀靶材检测机构 [P].

林胜国 .

中国专利 :CN202383109U ,2012-08-15

[9]

可直立式机壳组合以及可直立式电子装置 [P].

谢得民 ;

彭建铭 .

中国专利 :CN201256497Y ,2009-06-10

[10]

直立式食材烘烤装置 [P].

江启瑞 .

中国专利 :CN203815299U ,2014-09-10

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