一种靶材溅镀设备以及靶材溅镀系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811505144.7

申请日：

2018-12-10

公开(公告)号：

CN111286712B

公开(公告)日：

2020-06-16

发明(设计)人：

严鹏

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山市高新区晨丰路18号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1434

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

王献茹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-16	公开	公开
2022-05-17	授权	授权
2020-07-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20181210

共 50 条

[1]

靶材结构及其溅镀设备 [P].

陈维燕 .

中国专利 :CN201834964U ,2011-05-18

[2]

直立式靶材结构以及溅镀设备 [P].

巫喜钰 ;

蔡博旭 .

中国专利 :CN205590795U ,2016-09-21

[3]

一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备 [P].

杜建华 ;

王灿 ;

何晓龙 ;

孙雪菲 .

中国专利 :CN105154837B ,2015-12-16

[4]

磁控式溅镀靶及磁控式溅镀系统 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN101851746A ,2010-10-06

[5]

溅镀标靶部件、溅镀设备及溅镀方法 [P].

鍾承芳 ;

郑文正 ;

杨博文 ;

何明杰 ;

吕彦姿 ;

邓承翊 .

中国专利 :CN113265632A ,2021-08-17

[6]

溅镀设备及溅镀方法 [P].

许民庆 ;

储培鸣 .

中国专利 :CN104109835A ,2014-10-22

[7]

溅镀设备及使用所述溅镀设备的溅镀方法 [P].

李大龙 ;

朴俊雨 ;

姜京锡 .

中国专利 :CN115029673A ,2022-09-09

[8]

一种溅镀方法及溅镀设备 [P].

范继良 ;

杨明生 ;

谢金桥 ;

刘涛 ;

王勇 .

中国专利 :CN100582293C ,2008-09-10

[9]

一种溅镀托盘和溅镀设备 [P].

陈广平 ;

徐彬 ;

欧义星 .

中国专利 :CN222834383U ,2025-05-06

[10]

一种溅镀装置及溅镀系统 [P].

苏彦荧 .

中国专利 :CN107365968A ,2017-11-21

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