一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510672927.4

申请日：

2015-10-16

公开(公告)号：

CN105154837B

公开(公告)日：

2015-12-16

发明(设计)人：

杜建华王灿何晓龙孙雪菲

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-16	公开	公开
2017-10-27	授权	授权
2016-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101642493472 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2015106729274 申请日:20151016

共 50 条

[1]

一种靶材溅镀设备以及靶材溅镀系统 [P].

严鹏 .

中国专利 :CN111286712B ,2020-06-16

[2]

溅镀设备及使用所述溅镀设备的溅镀方法 [P].

李大龙 ;

朴俊雨 ;

姜京锡 .

中国专利 :CN115029673A ,2022-09-09

[3]

溅镀设备及溅镀方法 [P].

许民庆 ;

储培鸣 .

中国专利 :CN104109835A ,2014-10-22

[4]

靶材结构及其溅镀设备 [P].

陈维燕 .

中国专利 :CN201834964U ,2011-05-18

[5]

溅镀标靶部件、溅镀设备及溅镀方法 [P].

鍾承芳 ;

郑文正 ;

杨博文 ;

何明杰 ;

吕彦姿 ;

邓承翊 .

中国专利 :CN113265632A ,2021-08-17

[6]

一种溅镀方法及溅镀设备 [P].

范继良 ;

杨明生 ;

谢金桥 ;

刘涛 ;

王勇 .

中国专利 :CN100582293C ,2008-09-10

[7]

溅镀设备 [P].

王仲培 .

中国专利 :CN102433538A ,2012-05-02

[8]

一种溅镀托盘和溅镀设备 [P].

陈广平 ;

徐彬 ;

欧义星 .

中国专利 :CN222834383U ,2025-05-06

[9]

溅镀机光盘更换装置 [P].

郭晓明 .

中国专利 :CN201217692Y ,2009-04-08

[10]

用于溅镀设备更换靶材的辅助装置 [P].

刘辛 .

中国专利 :CN201301335Y ,2009-09-02

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