溅镀机光盘更换装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN200820139275.3
申请日
2008-10-14
公开(公告)号
CN201217692Y
公开(公告)日
2009-04-08
发明(设计)人
郭晓明
申请人
申请人地址
515100广东省汕头市潮阳区棉北平北工业区金荣大厦
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
代理机构
汕头市潮睿专利事务有限公司
代理人
丁德轩
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
光盘溅镀机 [P]. 
汪凯 .
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[2]
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连续式蒸镀溅镀机 [P]. 
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[4]
一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备 [P]. 
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[9]
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