光盘生产线溅镀机专用靶材

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120521279.X

申请日：

2011-12-14

公开(公告)号：

CN202404895U

公开(公告)日：

2012-08-29

发明(设计)人：

刘万学邹国旗刘果徐光

申请人：

申请人地址：

136001 吉林省四平市铁东区开发区大路1680号

IPC主分类号：

G11B726

IPC分类号：

代理机构：

吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204

代理人：

石岱

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101596907465 IPC(主分类):G11B 7/26 专利号:ZL201120521279X 申请日:20111214 授权公告日:20120829 终止日期:20131214
2012-08-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光盘生产线溅镀机专用靶材 [P].

孙伟华 .

中国专利 :CN208617970U ,2019-03-19

[2]

溅镀靶材 [P].

黄民育 ;

张廖万民 ;

陈志豪 ;

韩中明 .

中国专利 :CN212505048U ,2021-02-09

[3]

溅镀靶材组件 [P].

细川昭弘 ;

J·M·怀特 ;

任东吉 .

中国专利 :CN205275690U ,2016-06-01

[4]

光盘溅镀机 [P].

汪凯 .

中国专利 :CN300733055D ,2008-01-16

[5]

真空离子溅镀靶材 [P].

戴明光 ;

林政乾 .

中国专利 :CN2786147Y ,2006-06-07

[6]

溅镀靶材检测机构 [P].

林胜国 .

中国专利 :CN202383109U ,2012-08-15

[7]

溅镀机光盘更换装置 [P].

郭晓明 .

中国专利 :CN201217692Y ,2009-04-08

[8]

溅镀机阴极靶源结构 [P].

蔡俊毅 .

中国专利 :CN2736369Y ,2005-10-26

[9]

溅镀靶材的冷却装置 [P].

姚朝祯 .

中国专利 :CN201268720Y ,2009-07-08

[10]

光盘生产线调整设备 [P].

杨明生 ;

朱福强 .

中国专利 :CN201629150U ,2010-11-10

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