光刻胶的参数检测方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610311869.7

申请日：

2016-05-11

公开(公告)号：

CN106053355A

公开(公告)日：

2016-10-26

发明(设计)人：

钱娟娟马超黄胜徐海涛江涛张慧文齐发

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G01N2127

IPC分类号：

G01B1106

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

滕一斌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101688774229 IPC(主分类):G01N 21/27 专利申请号:2016103118697 申请日:20160511
2016-10-26	公开	公开
2019-08-02	授权	授权

共 50 条

[1]

内置光刻胶检测单元的退火装置、光刻胶的检测方法 [P].

王硕 ;

许忠义 .

中国专利 :CN102354665A ,2012-02-15

[2]

光刻胶、光刻缺陷检测装置和方法 [P].

欧姣 ;

官锡俊 .

中国专利 :CN120255287A ,2025-07-04

[3]

光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法 [P].

徐宏 ;

何向明 ;

刘天棋 .

中国专利 :CN115903376B ,2025-01-14

[4]

光刻胶及光刻方法 [P].

袁华 ;

黄永发 ;

杨尚勇 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110501873A ,2019-11-26

[5]

光刻胶厚度异常的检测方法 [P].

杨晓松 ;

易旭东 .

中国专利 :CN106154755A ,2016-11-23

[6]

光刻胶去除方法及光刻胶重制方法 [P].

邱靖尧 ;

谢玟茜 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110581065A ,2019-12-17

[7]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

[8]

光刻胶前烘方法、装置及光刻设备 [P].

卢彦春 .

中国专利 :CN106125520A ,2016-11-16

[9]

检测光刻胶缺陷的方法 [P].

胡林 .

中国专利 :CN102496586B ,2012-06-13

[10]

光刻胶去除装置和去除光刻胶的方法 [P].

张凇铭 ;

惠世鹏 ;

刘效岩 .

中国专利 :CN111610698A ,2020-09-01

← 1 2 3 4 5 →