基板清洗装置及其基板清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110929176.5

申请日：

2021-08-13

公开(公告)号：

CN113658886A

公开(公告)日：

2021-11-16

发明(设计)人：

彭竑凯

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B302 B08B104 B08B1300

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

郭凤杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	公开	公开
2021-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210813

共 50 条

[1]

基板清洗装置、基板清洗系统以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN103567169B ,2014-02-12

[2]

基板清洗辊、基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN107078046A ,2017-08-18

[3]

基板清洗装置、基板清洗方法、基板处理装置 [P].

川村茂 ;

林辉幸 .

中国专利 :CN101313389A ,2008-11-26

[4]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

日野出大辉 ;

逸见昂史 ;

太田乔 ;

中西恭平 ;

中泽和彦 .

中国专利 :CN114649193A ,2022-06-21

[5]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

圆山洋介 .

中国专利 :CN115083947A ,2022-09-20

[6]

基板清洗装置以及基板清洗方法 [P].

冲田展彬 ;

中村一树 ;

冈田吉文 .

日本专利 :CN120380579A ,2025-07-25

[7]

基板清洗装置和基板清洗方法 [P].

酒井俊充 ;

羽田敬子 .

日本专利 :CN112838027B ,2024-08-16

[8]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

中村一树 ;

冈田吉文 ;

冲田展彬 .

日本专利 :CN117747489A ,2024-03-22

[9]

基板清洗方法和基板清洗装置 [P].

冈岛俊祐 .

中国专利 :CN102388335A ,2012-03-21

[10]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

岩元勇人 ;

足立训章 .

中国专利 :CN101314159A ,2008-12-03

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