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光配向掩膜版修复方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910010959.6
申请日：
2019-01-07
公开(公告)号：
CN109471328A
公开(公告)日：
2019-03-15
发明(设计)人：
戴明鑫
李林
刘聪聪
陈林
杨俊
申请人：
申请人地址：
610200 四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
IPC主分类号：
G03F172
IPC分类号：
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
李小波;刘芳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/72 申请日:20190107 |
| 2022-12-09 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 1/72 申请公布日:20190315 |
| 2019-03-15 | 公开 | 公开 |