一种光刻掩膜版和光刻掩膜版缺陷的修复方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610979266.4

申请日：

2016-11-08

公开(公告)号：

CN108073035A

公开(公告)日：

2018-05-25

发明(设计)人：

施维

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F172

IPC分类号：

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;高伟

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 1/72 申请公布日:20180525
2018-06-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/72 申请日:20161108
2018-05-25	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻掩膜版缺陷的修复方法及光刻掩膜版 [P].

王杰 ;

秦学飞 ;

薛粉 ;

丛林娜 .

中国专利 :CN111435218A ,2020-07-21

[2]

光刻掩膜版的制造方法 [P].

邢滨 ;

张城龙 .

中国专利 :CN107168010A ,2017-09-15

[3]

掩膜版、掩膜版缺陷修复方法、掩膜版的使用方法以及半导体结构 [P].

秦学飞 ;

王杰 ;

薛粉 ;

凌文君 ;

李德建 .

中国专利 :CN112394614B ,2024-12-17

[4]

掩膜版、掩膜版缺陷修复方法、掩膜版的使用方法以及半导体结构 [P].

秦学飞 ;

王杰 ;

薛粉 ;

凌文君 ;

李德建 .

中国专利 :CN112394614A ,2021-02-23

[5]

一种报废光刻掩膜版的回收处理方法 [P].

王峰 .

中国专利 :CN109031883A ,2018-12-18

[6]

光配向掩膜版修复方法 [P].

戴明鑫 ;

李林 ;

刘聪聪 ;

陈林 ;

杨俊 .

中国专利 :CN109471328A ,2019-03-15

[7]

掩膜版及掩膜装置 [P].

张春旭 ;

戴珂 ;

江鹏 ;

吴忠厚 ;

张云天 ;

邓亚飞 .

中国专利 :CN109491199A ,2019-03-19

[8]

一种掩膜版传送装置及掩膜版除尘方法 [P].

宋海生 ;

王晓龙 ;

郑海昌 .

中国专利 :CN109240045A ,2019-01-18

[9]

一种掩膜版机台以及掩膜版转移系统 [P].

胡淳铭 .

中国专利 :CN220491179U ,2024-02-13

[10]

组合掩膜版 [P].

吴晗 .

中国专利 :CN208283720U ,2018-12-25

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