光刻掩膜版的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610129786.6

申请日：

2016-03-08

公开(公告)号：

CN107168010A

公开(公告)日：

2017-09-15

发明(设计)人：

邢滨张城龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F168

IPC分类号：

G03F700

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-09	授权	授权
2017-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/68 申请日:20160308
2017-09-15	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻掩膜版缺陷的修复方法及光刻掩膜版 [P].

王杰 ;

秦学飞 ;

薛粉 ;

丛林娜 .

中国专利 :CN111435218A ,2020-07-21

[2]

制造掩膜版的方法 [P].

陈新晋 .

中国专利 :CN102043323B ,2011-05-04

[3]

一种光刻掩膜版和光刻掩膜版缺陷的修复方法 [P].

施维 .

中国专利 :CN108073035A ,2018-05-25

[4]

光刻掩膜及其制造方法 [P].

古海裕 ;

朱泽力 ;

王连彬 ;

何云富 ;

陈雄达 ;

李金军 .

中国专利 :CN118377185A ,2024-07-23

[5]

一种掩膜版、掩膜版系统及制备、光刻方法 [P].

周波 ;

黎关超 ;

刘福萌 .

中国专利 :CN110989288B ,2020-04-10

[6]

掩膜版制作方法及掩膜版 [P].

龚建国 ;

刘兴阳 ;

林昌廷 ;

黄展康 ;

隋运武 ;

吕磊 .

中国专利 :CN119352113A ,2025-01-24

[7]

光刻掩膜版的良率提升方法 [P].

陈福成 .

中国专利 :CN103454854A ,2013-12-18

[8]

掩膜版及其制造方法 [P].

侯广杰 ;

谢超 .

中国专利 :CN110928137A ,2020-03-27

[9]

掩膜版及掩膜版的制备方法 [P].

顾明亮 ;

叶超 ;

江俊波 .

中国专利 :CN119024636A ,2024-11-26

[10]

一种光刻掩膜版 [P].

王峰 .

中国专利 :CN208737213U ,2019-04-12

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