一种硅片检测载台

被引：0

申请号：

CN202220883214.8

申请日：

2022-04-15

公开(公告)号：

CN217387127U

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

陈俊宏

申请人：

申请人地址：

221000 江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片悬浮载台及硅片移载机构 [P].

许明现 ;

洪昀 ;

张杜超 ;

禹牛云 ;

朱玉龙 .

中国专利 :CN216054631U ,2022-03-15

[2]

一种定位硅片载片台 [P].

张雪奎 ;

刘增增 ;

张少帆 ;

徐金鑫 ;

梁志鹏 .

中国专利 :CN223728730U ,2025-12-26

[3]

一种硅片检测工作台 [P].

祝伟 ;

俞进宁 ;

华健 .

中国专利 :CN221186450U ,2024-06-21

[4]

一种硅片载具检测装置 [P].

王相军 ;

梁建 ;

戴洪烨 ;

鱼科军 .

中国专利 :CN214203621U ,2021-09-14

[5]

一种硅片载具检测仪 [P].

汪滢 ;

李勃 ;

董雪迪 .

中国专利 :CN220772127U ,2024-04-12

[6]

检测载台 [P].

王忠祥 ;

陆豪亮 ;

管兵 ;

王鹏 ;

吴延虎 .

中国专利 :CN218470671U ,2023-02-10

[7]

一种硅片载板 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN213958935U ,2021-08-13

[8]

一种硅片载板 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN213716861U ,2021-07-16

[9]

一种硅片载具 [P].

滕勇 ;

彭应龙 ;

周毅 .

中国专利 :CN204991669U ,2016-01-20

[10]

一种硅片载具 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN214271035U ,2021-09-24

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