一种氮化硅三维集成多微腔谐振滤波器件及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810581462.5

申请日：

2018-06-07

公开(公告)号：

CN108693602A

公开(公告)日：

2018-10-23

发明(设计)人：

冯吉军翟珊张福领封治华曾和平

申请人：

申请人地址：

200093 上海市杨浦区军工路516号

IPC主分类号：

G02B6293

IPC分类号：

代理机构：

上海旭诚知识产权代理有限公司 31220

代理人：

郑立

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-23	公开	公开
2020-01-10	授权	授权
2018-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/293 申请日:20180607

共 50 条

[1]

一种可调谐三维氮化硅双微环谐振滤波器件及其制备方法 [P].

冯吉军 ;

庄山庆 ;

曾和平 .

中国专利 :CN112363272B ,2021-02-12

[2]

混合集成的氮化硅微环谐振腔及其制备方法 [P].

冯佐 ;

李兆峰 ;

杨富华 ;

王晓东 ;

何玉铭 ;

韩伟华 .

中国专利 :CN111399117A ,2020-07-10

[3]

基于三维微环谐振腔的电控可调谐滤波器及制备方法 [P].

冯吉军 ;

刘洋 ;

曾和平 .

中国专利 :CN106842634A ,2017-06-13

[4]

一种基于氮化硅微环谐振腔的片上集成量子光源器件 [P].

陈钰杰 ;

罗文达 ;

张彦峰 ;

余思远 .

中国专利 :CN118151465A ,2024-06-07

[5]

用于光频梳的氮化硅微环谐振腔的制备方法 [P].

冯梁森 ;

李维 ;

李昱东 ;

武腾飞 .

中国专利 :CN112578499B ,2021-03-30

[6]

一种有源集成氮化硅光子晶体谐振腔传感器及制备方法 [P].

刘启发 ;

孟旻佳 .

中国专利 :CN114705655A ,2022-07-05

[7]

一种有源集成氮化硅光子晶体谐振腔传感器及制备方法 [P].

刘启发 ;

孟旻佳 .

中国专利 :CN114705655B ,2025-03-14

[8]

宽波导高耦合效率氮化硅微环谐振腔结构及其设计方法 [P].

李维 ;

冯梁森 ;

武腾飞 ;

陈佳旭 ;

李昱东 ;

韩艳晨 .

中国专利 :CN121165247A ,2025-12-19

[9]

基于硅-氮化硅三维集成的微环光开关 [P].

陆梁军 ;

李鑫 ;

高伟 ;

周林杰 ;

陈建平 .

中国专利 :CN113985522B ,2022-01-28

[10]

一种氮化硅及其制备方法 [P].

赵国瑞 ;

陈秀娟 ;

王恩哥 ;

吴世傲 ;

范伟丰 .

中国专利 :CN119241257A ,2025-01-03

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