基于硅-氮化硅三维集成的微环光开关

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111235276.4

申请日：

2021-10-22

公开(公告)号：

CN113985522B

公开(公告)日：

2022-01-28

发明(设计)人：

陆梁军李鑫高伟周林杰陈建平

申请人：

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G02B612

IPC分类号：

G02B6125

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/12 申请日:20211022
2022-01-28	公开	公开
2022-08-09	授权	授权

共 50 条

[1]

硅-氮化硅三维集成偏振无关波长选择光开关阵列芯片 [P].

陆梁军 ;

李鑫 ;

高伟 ;

周林杰 ;

陈建平 .

中国专利 :CN113985521B ,2022-01-28

[2]

一种氮化硅宽带光开关 [P].

武爱民 ;

李昂 ;

仇超 .

中国专利 :CN113805398A ,2021-12-17

[3]

定向耦合器及基于氮化硅平台的光开关 [P].

杨忠华 ;

崔乃迪 ;

杨明祥 ;

梁宇鑫 ;

冯靖 ;

李智慧 ;

廖海军 ;

陈仙 ;

冯俊波 ;

郭进 .

中国专利 :CN111290191A ,2020-06-16

[4]

一种基于氮化硅波导的偏振无关集成光开关及其制作方法 [P].

冯吉军 ;

孙晓宇 ;

曾和平 .

中国专利 :CN108227084A ,2018-06-29

[5]

混合集成的氮化硅微环谐振腔及其制备方法 [P].

冯佐 ;

李兆峰 ;

杨富华 ;

王晓东 ;

何玉铭 ;

韩伟华 .

中国专利 :CN111399117A ,2020-07-10

[6]

一种基于竖直硅光微环的三维光学倒装集成结构及方法 [P].

陈晓刚 ;

胡朝阳 .

中国专利 :CN114089471B ,2024-07-19

[7]

一种基于竖直硅光微环的三维光学倒装集成结构及方法 [P].

陈晓刚 ;

胡朝阳 .

中国专利 :CN114089471A ,2022-02-25

[8]

利用三维打印制备多孔氮化硅的方法 [P].

梁云忠 ;

徐卫平 ;

伍权 ;

汤耿 .

中国专利 :CN105777180A ,2016-07-20

[9]

基于氮化硅光子晶体的光分路器 [P].

佘小娟 ;

廖涵 ;

赵瑛璇 ;

仇超 ;

甘甫烷 .

中国专利 :CN215575764U ,2022-01-18

[10]

一种基于硅基氮化硅波导的90度光混频器 [P].

王佳垚 ;

涂芝娟 ;

余明斌 .

中国专利 :CN114726447A ,2022-07-08

← 1 2 3 4 5 →