硅-氮化硅三维集成偏振无关波长选择光开关阵列芯片

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111233583.9

申请日：

2021-10-22

公开(公告)号：

CN113985521B

公开(公告)日：

2022-01-28

发明(设计)人：

陆梁军李鑫高伟周林杰陈建平

申请人：

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G02B612

IPC分类号：

G02B6293 G02B635

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	授权	授权
2022-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/12 申请日:20211022
2022-01-28	公开	公开

共 34 条

[1]

基于硅-氮化硅三维集成的微环光开关 [P].

陆梁军 ;

李鑫 ;

高伟 ;

周林杰 ;

陈建平 .

中国专利 :CN113985522B ,2022-01-28

[2]

一种基于氮化硅波导的偏振无关集成光开关及其制作方法 [P].

冯吉军 ;

孙晓宇 ;

曾和平 .

中国专利 :CN108227084A ,2018-06-29

[3]

薄膜电光晶体-氮化硅异质集成N×N高速光开关阵列及其制备方法 [P].

陆梁军 ;

苏锦伟 ;

李雨 ;

郭宇耀 ;

周林杰 ;

陈建平 .

中国专利 :CN120871469A ,2025-10-31

[4]

基于偏振无关马赫-曾德尔光开关的N×N光开关阵列及光开关芯片 [P].

陆梁军 ;

高伟 ;

周林杰 ;

陈建平 ;

金敏慧 .

中国专利 :CN118764090A ,2024-10-11

[5]

基于垂直耦合结构的硅-氮化硅集成偏振分束器 [P].

王嘉源 .

中国专利 :CN112269224A ,2021-01-26

[6]

三维光开关、三维光网络和三维光芯片 [P].

崔乃迪 ;

欧阳伯灵 ;

冯俊波 ;

郭进 .

中国专利 :CN114859623B ,2024-10-29

[7]

三维光开关、三维光网络和三维光芯片 [P].

崔乃迪 ;

欧阳伯灵 ;

冯俊波 ;

郭进 .

中国专利 :CN114859623A ,2022-08-05

[8]

一种基于马赫-曾德结构的氮化硅波导热光开关阵列芯片及其制作方法 [P].

恽斌峰 ;

胡国华 ;

张若虎 ;

钟嫄 ;

崔一平 .

中国专利 :CN104849878A ,2015-08-19

[9]

三维异质集成光计算芯片 [P].

王健 ;

万远剑 .

中国专利 :CN119558369A ,2025-03-04

[10]

三维异质集成光计算芯片 [P].

王健 ;

万远剑 .

中国专利 :CN119558369B ,2025-11-21

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