半导体湿法清洗设备中水回收装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720287062.4

申请日：

2017-03-23

公开(公告)号：

CN206635054U

公开(公告)日：

2017-11-14

发明(设计)人：

陈建标蒋亚东李天鹏王光伟董振雷顾中平

申请人：

申请人地址：

214434 江苏省无锡市江阴市滨江开发区澄江东路

IPC主分类号：

C02F100

IPC分类号：

代理机构：

江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309

代理人：

周彩钧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-14	授权	授权
2021-02-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C02F 1/00 变更事项:专利权人变更前:江阴新顺微电子有限公司变更后:江苏新顺微电子股份有限公司变更事项:地址变更前:214434 江苏省无锡市江阴市滨江开发区澄江东路变更后:214434 江苏省无锡市江阴市滨江开发区澄江东路

共 50 条

[1]

一种半导体湿法清洗设备 [P].

赵春生 .

中国专利 :CN218282846U ,2023-01-13

[2]

半导体湿法清洗设备及其自清洗方法 [P].

王泽 ;

王岩 ;

章志兴 .

中国专利 :CN119905420B ,2025-12-12

[3]

半导体湿法清洗设备及其自清洗方法 [P].

王泽 ;

王岩 ;

章志兴 .

中国专利 :CN119905420A ,2025-04-29

[4]

半导体清洗设备 [P].

王宝生 ;

唐斌 .

中国专利 :CN217289621U ,2022-08-26

[5]

半导体清洗设备中的抽风装置 [P].

卡尔·罗伯特·休斯特 .

中国专利 :CN202638839U ,2013-01-02

[6]

用于半导体湿法工艺中的悬挂装置及半导体生产设备 [P].

程登 ;

牛李宁 ;

赵强强 ;

徐勇 ;

吴良虎 .

中国专利 :CN222801760U ,2025-04-25

[7]

一种用于半导体湿法清洗的装置 [P].

万林林 ;

雷述宇 .

中国专利 :CN203932013U ,2014-11-05

[8]

一种半导体制造用湿法清洗设备 [P].

张乔栋 ;

陈业 ;

刘少丽 ;

杨雅婷 ;

王倩 .

中国专利 :CN207338325U ,2018-05-08

[9]

一种半导体晶片湿法清洗设备 [P].

赵厚莹 .

中国专利 :CN107546148A ,2018-01-05

[10]

一种半导体晶片湿法清洗设备 [P].

赵厚莹 .

中国专利 :CN108022855A ,2018-05-11

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