半导体清洗设备中的抽风装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220219711.4

申请日：

2012-05-16

公开(公告)号：

CN202638839U

公开(公告)日：

2013-01-02

发明(设计)人：

卡尔·罗伯特·休斯特

申请人：

申请人地址：

213031 江苏省常州市新北区新科路21号

IPC主分类号：

B08B1504

IPC分类号：

代理机构：

常州市科谊专利代理事务所 32225

代理人：

孙彬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-02	授权	授权
2016-06-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101668950584 IPC(主分类):B08B 15/04 专利号:ZL2012202197114 申请日:20120516 授权公告日:20130102 终止日期:20150516

共 50 条

[1]

一种半导体清洗设备中的抽风装置 [P].

尤春雷 .

中国专利 :CN207533655U ,2018-06-26

[2]

半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08

[3]

半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备 [P].

崔凯 ;

乔夫龙 ;

赵刘明 ;

张适杰 .

中国专利 :CN223390499U ,2025-09-26

[4]

半导体清洗设备中的清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 ;

张敬博 ;

王延广 .

中国专利 :CN113305093B ,2021-08-27

[5]

一种半导体清洗设备焊接过程的抽风装置 [P].

李宝明 ;

陈进 ;

田毅 .

中国专利 :CN112604413A ,2021-04-06

[6]

半导体清洗设备中的机械手 [P].

金金明 .

中国专利 :CN202638831U ,2013-01-02

[7]

半导体清洗单元和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988677U ,2022-03-08

[8]

半导体清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN220970269U ,2024-05-17

[9]

半导体清洗设备的传输装置 [P].

王智 .

中国专利 :CN213140577U ,2021-05-07

[10]

一种半导体清洗设备焊接专用装置 [P].

李宝明 .

中国专利 :CN217513135U ,2022-09-30

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