一种半导体清洗设备中的抽风装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721189307.6

申请日：

2017-09-18

公开(公告)号：

CN207533655U

公开(公告)日：

2018-06-26

发明(设计)人：

尤春雷

申请人：

申请人地址：

362300 福建省泉州市南安市仑苍镇高新技术园

IPC主分类号：

B08B1504

IPC分类号：

H01L2167

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-26	授权	授权
2019-09-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 15/04 申请日:20170918 授权公告日:20180626 终止日期:20180918

共 50 条

[1]

半导体清洗设备中的抽风装置 [P].

卡尔·罗伯特·休斯特 .

中国专利 :CN202638839U ,2013-01-02

[2]

一种半导体清洗设备焊接过程的抽风装置 [P].

李宝明 ;

陈进 ;

田毅 .

中国专利 :CN112604413A ,2021-04-06

[3]

一种半导体清洗设备焊接专用装置 [P].

李宝明 .

中国专利 :CN217513135U ,2022-09-30

[4]

一种半导体清洗设备中的喷淋装置 [P].

王小祥 ;

高胜 .

中国专利 :CN223363116U ,2025-09-19

[5]

一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备 [P].

马宏帅 ;

王锐廷 ;

张敬博 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN112077067B ,2020-12-15

[6]

一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备 [P].

李毅承 .

中国专利 :CN120961496A ,2025-11-18

[7]

一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置 [P].

仇建明 ;

仲明飞 .

中国专利 :CN221063872U ,2024-06-04

[8]

半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08

[9]

半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备 [P].

崔凯 ;

乔夫龙 ;

赵刘明 ;

张适杰 .

中国专利 :CN223390499U ,2025-09-26

[10]

半导体清洗设备中的清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 ;

张敬博 ;

王延广 .

中国专利 :CN113305093B ,2021-08-27

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