一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322639199.X

申请日：

2023-09-27

公开(公告)号：

CN221063872U

公开(公告)日：

2024-06-04

发明(设计)人：

仇建明仲明飞

申请人：

江苏迈睿科半导体科技有限公司

申请人地址：

226500 江苏省南通市如皋市丁堰镇兴堰路8号15#B栋厂房

IPC主分类号：

B08B15/04

IPC分类号：

代理机构：

北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491

代理人：

赵红霞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置 [P].

王文和 ;

卢刘振 ;

唐飞 .

中国专利 :CN215696442U ,2022-02-01

[2]

一种半导体清洗设备中的抽风装置 [P].

尤春雷 .

中国专利 :CN207533655U ,2018-06-26

[3]

半导体清洗设备中的抽风装置 [P].

卡尔·罗伯特·休斯特 .

中国专利 :CN202638839U ,2013-01-02

[4]

一种半导体湿法清洗设备 [P].

赵春生 .

中国专利 :CN218282846U ,2023-01-13

[5]

一种用于半导体湿法清洗的装置 [P].

万林林 ;

雷述宇 .

中国专利 :CN203932013U ,2014-11-05

[6]

一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统 [P].

蒋亚东 ;

周晓 ;

陈磊 ;

吕伟 ;

李天鹏 ;

王光伟 .

中国专利 :CN211554724U ,2020-09-22

[7]

半导体湿法清洗设备中水回收装置 [P].

陈建标 ;

蒋亚东 ;

李天鹏 ;

王光伟 ;

董振雷 ;

顾中平 .

中国专利 :CN206635054U ,2017-11-14

[8]

一种半导体晶片湿法清洗设备 [P].

赵厚莹 .

中国专利 :CN107546148A ,2018-01-05

[9]

一种半导体晶片湿法清洗设备 [P].

赵厚莹 .

中国专利 :CN108022855A ,2018-05-11

[10]

一种半导体制造用湿法清洗设备 [P].

张乔栋 ;

陈业 ;

刘少丽 ;

杨雅婷 ;

王倩 .

中国专利 :CN207338325U ,2018-05-08

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