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一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511337129.6
申请日：
2025-09-18
公开(公告)号：
CN120961496A
公开(公告)日：
2025-11-18
发明(设计)人：
李毅承
申请人：
深圳市川世达科技有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区平塘A5栋201
IPC主分类号：
B08B3/02
IPC分类号：
H01L21/673
代理机构：
深圳汉林汇融知识产权代理事务所(普通合伙) 44850
代理人：
何松
法律状态：
公开
国省代码：
广东省 深圳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-18 公开 公开
2025-12-05 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B08B 3/02申请日:20250918
共 50 条
[1]
一种半导体清洗设备中的喷淋装置和半导体清洗设备 [P]. 
马宏帅 ;
王锐廷 ;
张敬博 ;
赵宏宇 .
中国专利 :CN112077067B ,2020-12-15
[2]
一种半导体清洗设备喷淋装置 [P]. 
陈燏 .
中国专利 :CN216631771U ,2022-05-31
[3]
一种半导体清洗设备中的喷淋装置 [P]. 
王小祥 ;
高胜 .
中国专利 :CN223363116U ,2025-09-19
[4]
半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P]. 
左国军 ;
邱瑞 ;
成旭 ;
李雄朋 ;
陈雷 ;
谈丽文 ;
申斌 .
中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08
[5]
半导体清洗设备中的清洗槽及半导体清洗设备 [P]. 
梁家齐 ;
赵宏宇 ;
张敬博 ;
王延广 .
中国专利 :CN113305093B ,2021-08-27
[6]
半导体清洗单元和半导体清洗设备 [P]. 
左国军 ;
邱瑞 ;
成旭 ;
李雄朋 ;
陈雷 ;
谈丽文 ;
申斌 .
中国专利 :CN215988677U ,2022-03-08
[7]
半导体清洗设备 [P]. 
徐刚 .
中国专利 :CN119650455A ,2025-03-18
[8]
半导体清洗载具和半导体清洗设备 [P]. 
张洋 .
中国专利 :CN120341146A ,2025-07-18
[9]
半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备 [P]. 
崔凯 ;
乔夫龙 ;
赵刘明 ;
张适杰 .
中国专利 :CN223390499U ,2025-09-26
[10]
一种半导体清洗设备的清洗槽及半导体清洗设备 [P]. 
张向东 .
中国专利 :CN119008465A ,2024-11-22
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