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一种半导体清洗设备中的抽风装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721189307.6
申请日：
2017-09-18
公开(公告)号：
CN207533655U
公开(公告)日：
2018-06-26
发明(设计)人：
尤春雷
申请人：
申请人地址：
362300 福建省泉州市南安市仑苍镇高新技术园
IPC主分类号：
B08B1504
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-06-26 | 授权 | 授权 |
| 2019-09-10 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 15/04 申请日:20170918 授权公告日:20180626 终止日期:20180918 |