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一种半导体IPA清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420573205.8
申请日：
2024-03-22
公开(公告)号：
CN222036075U
公开(公告)日：
2024-11-22
发明(设计)人：
戴根华
申请人：
上海镭能电子科技有限公司
申请人地址：
201821 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路925号A区T1座
IPC主分类号：
B08B3/12
IPC分类号：
B08B3/02
B08B1/30
B08B3/14
H01L21/67
代理机构：
北京道森智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 33468
代理人：
李汭
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-22 | 授权 | 授权 |