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一种接地电极结构及具有该接地电极的等离子腔室
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920790119.1
申请日：
2019-05-29
公开(公告)号：
CN209982805U
公开(公告)日：
2020-01-21
发明(设计)人：
张志强
丁伟
彭帆
申请人：
申请人地址：
200240 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室
IPC主分类号：
H05H146
IPC分类号：
G03F742
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-21 | 授权 | 授权 |