用于优化的等离子室接地电极总成的设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680048606.6

申请日：

2006-12-20

公开(公告)号：

CN101346492B

公开(公告)日：

2009-01-14

发明(设计)人：

阿诺德·霍洛坚科安瓦尔·侯赛因

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1600

IPC分类号：

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

周文强;李献忠

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	授权	授权
2009-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-01-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种接地电极结构及具有该接地电极的等离子腔室 [P].

张志强 ;

丁伟 ;

彭帆 .

中国专利 :CN209982805U ,2020-01-21

[2]

等离子处理装置用接地电极 [P].

渡部拓 .

中国专利 :CN305643703S ,2020-03-17

[3]

用于等离子处理设备的喷头电极总成 [P].

汤姆·史蒂文森 ;

拉金德尔·德辛德萨 .

中国专利 :CN102057471A ,2011-05-11

[4]

用于等离子处理设备的喷头电极总成 [P].

托马斯·R·史蒂文森 ;

安东尼·德拉列拉 ;

绍拉·乌拉尔 .

中国专利 :CN101720363A ,2010-06-02

[5]

用于等离子处理设备的喷头电极总成的温度控制模块 [P].

拉金德尔·德辛德萨 .

中国专利 :CN101809717B ,2010-08-18

[6]

形成在用于等离子体处理腔室的静电吸盘中的接地电极 [P].

M·R·赖斯 ;

V·D·帕科 .

中国专利 :CN111293023A ,2020-06-16

[7]

具有带有改进的等离子抗性的介电等离子室的等离子源 [P].

X·陈 ;

I·波基多夫 ;

A·古普塔 .

美国专利 :CN112655068B ,2024-04-12

[8]

具有带有改进的等离子抗性的介电等离子室的等离子源 [P].

X·陈 ;

I·波基多夫 ;

A·古普塔 .

中国专利 :CN112655068A ,2021-04-13

[9]

用于接地系统的接地电极 [P].

曹建春 .

中国专利 :CN108461935A ,2018-08-28

[10]

离子注入装置的接地电极 [P].

石田勇二 ;

川口宏 ;

高桥裕二 ;

佐藤正辉 .

中国专利 :CN305182412S ,2019-05-28

← 1 2 3 4 5 →